超微細なメカニカルセンサやアクチュエータなどＭＥＭ/NEMS （Micro/nano Electro Mechanical Systems）デバイス開発に取り組み、特に、形状記憶薄膜、磁歪薄膜等のスマート材料やソフト材料とマイクロナノデバイスの融合を図って、触覚提示デバイス、生体膜や血管操作用マイクロロボット、生体分子操作用の多機能AFMナノツール、遠隔地で動作する小惑星探査用メカなど、様々な分野の応用デバイスを開発しています。 また、これらの実現に不可欠なスマート材料薄膜・厚膜形成、3Dリソグラフィ、超微細パターン形成，特殊エッチングなど、マイクロ・ナノスケールでの独自のプロセス開発に取り組んでいます。
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